Instrument
研究室の設備をご紹介します。
予約サイトからは機材の利用予約ができます。（予約サイトの使用には事前登録が必要です。）
パルスレーザー
堆積装置
レーザーアブレーションで無機材料薄膜を作製します。
電子線蒸着器
電子線蒸着で金属薄膜を作製します。
X線回折装置
X線回折を使って結晶構造を分析します。
原子間力顕微鏡
薄膜表面の凹凸を原子レベルで測定します。
クリーンルーム
（共用施設）
フォトリソグラフィなどデバイス加工を行います。
ドラフト
薬液を用いてデバイスの微細加工を行います。
プローブステーション
電子デバイスや回路を測定します。
コールドスタット
10K-500Kの温度域で電子デバイスの測定を行います。
半導体パラメータ
アナライザ
6チャネルでトランジスタに関する様々な測定を行います。
電流波形アナライザ
1GHzサンプリングで電圧波形と電流波形を取得します。
ポテンショガルバノ
スタット
イオンに関する様々な電気化学測定を行います。
