Instrument
研究室の設備をご紹介します。
予約サイトからは機材の利用予約ができます。(予約サイトの使用には事前登録が必要です。)
パルスレーザー
堆積装置
レーザーアブレーションで無機材料薄膜を作製します。

電子線蒸着器
電子線蒸着で金属薄膜を作製します。

X線回折装置
X線回折を使って結晶構造を分析します。

原子間力顕微鏡
薄膜表面の凹凸を原子レベルで測定します。

クリーンルーム
(共用施設)
フォトリソグラフィなどデバイス加工を行います。

ドラフト
薬液を用いてデバイスの微細加工を行います。

プローブステーション
電子デバイスや回路を測定します。

コールドスタット
10K-500Kの温度域で電子デバイスの測定を行います。

半導体パラメータ
アナライザ
6チャネルでトランジスタに関する様々な測定を行います。

電流波形アナライザ
1GHzサンプリングで電圧波形と電流波形を取得します。

ポテンショガルバノ
スタット
イオンに関する様々な電気化学測定を行います。
